非接触式温度传感器是指它的敏感元件与被测对象互不接触,又称非接触式测温仪表。这种仪表可用来测量运动物体、小目标和热容量小或温度变化迅速(瞬变)对象的表面温度,也可用于测量温度场的温度分布。
最常用的非接触式测温仪表基于黑体辐射的基本定律,称为辐射测温仪表。在自动化生产中往往需要利用辐射测温法来测量或控制某些物体的表面温度,如冶金中的钢带轧制温度、轧辊温度、锻件温度和各种熔融金属在冶炼炉或坩埚中的温度。在这些具体情况下,物体表面发射率的测量是相当困难的。
测量上限不受感温元件耐温程度的限制,因而对最高可测温度原则上没有限制。对于1800℃以上的高温,主要采用非接触测温方法。随着红外技术的发展,辐射测温温度传感器
逐渐由可见光向红外线扩展,700℃以下直至常温都已采用,且分辨率很高。
近些年来,由于人们家庭及办公场所对节能的意识不断提高,在节能的同时还致力于实现舒适生活的智能家居,以及为必要的地方提供必要亮度的照明,并可实现节能与舒适性两全其美的应需环境照明等的智能办公室已经过研究阶段进入了验证实验的阶段。其中,作为掌握人数及人物所处位置的关键件,传感器的需求正在不断高涨。由于普遍用于人感传感器的热电传感器无法检测静止不动的人物,所以难以检测人数及人物所处位置。
由于这种情况,欧姆龙开发了能够检测静止人物,具有90度广视野范围并可实现高精度区域温度检测,用于人感传感器的16×16单元型MEMS非接触式温度传感器。该MEMS非接触式温度传感器是通过应用MEMS技术的热电堆将对象物体发出的红外线能源变为热能,并通过两种金属接点之间温差所形成的热电动势测量温度。
但由于热电堆所转换的热能大多数都会通过空气散失,所以在金属接点之间难以形成较大的温差,致使热电动势变小,无法提高灵敏度。这次,世界首次成功将热电堆真空封装在芯片内。采用真空封装即可避免将热电堆转换的热能散失在空气中,使金属接点之间的温差变大,从而可实现更高的灵敏度,该温度传感器目前在全世界行业技术属于瑶瑶领先的。
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